Placas cerâmicas de alumina apresentam grande potencial no campo dos semicondutores
Uma empresa de fabricação de semicondutores de renome mundial enfrenta sérios desafios no processo de gravação durante a fabricação de seus chips de ponta. Sob o efeito prolongado do plasma, os materiais tradicionais da câmara de gravação frequentemente apresentam problemas de corrosão, resultando em baixa eficiência de produção e alta taxa de produtos defeituosos. Para solucionar esse difícil problema, após uma série de experimentos e estudos, a empresa decidiu utilizar materiais de alta pureza.placas de cerâmica de aluminacomo materiais de proteção para a câmara de gravação e os componentes internos da câmara.
Alta purezaplacas de cerâmica de aluminaApresentam a característica de pureza extremamente alta. Geralmente, o requisito de pureza é superior a 99%, e as impurezas de óxido metálico (como MgO, CaO, SiO₂, etc.) são rigorosamente controladas dentro da faixa de 0,05 a 0,8%. Essa alta pureza confere às placas cerâmicas de alumina uma excelente resistência à corrosão por plasma. Comparado aos materiais de liga de alumínio usados no estágio inicial e à solução de revestimento de uma camada de óxido de alumínio anodizado sobre a liga de alumínio, a densa e de alta purezaplacas de cerâmica de aluminaEvita efetivamente o problema de contaminação por partículas metálicas. Ao mesmo tempo, evita-se a ocorrência de rachaduras facilmente devido aos diferentes coeficientes de expansão térmica entre o metal e o substrato, o que melhora significativamente a resistência à corrosão da câmara de corrosão.