Cerâmicas de alumina para semicondutores
Cerâmica de aluminasão amplamente utilizados em diversos componentes de equipamentos de fabricação de semicondutores. Por exemplo, em equipamentos de deposição química de vapor (CVD), os componentes da câmara de reação feitos de cerâmica de alumina podem suportar ambientes severos, como altas temperaturas e corrosão química, garantindo a estabilidade e a consistência do processo de reação. Em equipamentos de litografia,cerâmica de aluminasão usados para fabricar plataformas ópticas de alta precisão e componentes de suporte de carga, e sua alta dureza e estabilidade dimensional ajudam a garantir a precisão e a repetibilidade da litografia.
Com o desenvolvimento de dispositivos semicondutores em direção à miniaturização e alto desempenho, os requisitos para materiais de encapsulamento eletrônico também estão aumentando.Cerâmica de aluminaPossuem boa condutividade térmica, isolamento elétrico e propriedades mecânicas, o que permite dissipar eficazmente o calor gerado pelo chip, protegendo-o de influências ambientais externas. Por exemplo, em embalagens cerâmicas multicamadas (MLCC),cerâmica de aluminaserve como material de substrato, fornecendo conexões elétricas confiáveis e suporte físico para o chip.
Cerâmica de aluminaPossuem excelente estabilidade química e resistência a altas temperaturas, tornando-os um material ideal para a fabricação de sensores semicondutores. Por exemplo, em sensores de gás,cerâmica de aluminaServem como transportadores para componentes sensíveis, que podem operar de forma estável em ambientes agressivos, como alta temperatura e alta umidade, e possuem alta sensibilidade e capacidade de detecção seletiva para gases específicos. Em sensores de pressão, a alta resistência mecânica e estabilidade decerâmica de aluminapode garantir que o sensor possa medir com precisão as mudanças de pressão, mesmo sob condições de estresse de longo prazo.
Ocerâmica de aluminaUm indutor espiral planar fabricado com tecnologia de semicondutores pode aumentar a frequência autoharmônica do indutor. Utilizando um método de terminação única com um analisador de rede para testar seu valor S, os valores de indutância e Q podem ser derivados. Pesquisas demonstraram que parâmetros do eletrodo, como largura do eletrodo, espaçamento do eletrodo, voltas do eletrodo e raio da bobina, têm um impacto significativo em seu valor de indutância e fator de qualidade. Na faixa de baixa frequência, os resultados do teste são consistentes com os resultados da simulação, mas à medida que a frequência aumenta, a diferença aumenta devido ao efeito parasitário da ponta de prova.