Um dos principais fabricantes de equipamentos semicondutores na China utiliza 99%hastes cerâmicas de alumina de alta purezaComo componentes essenciais de suporte de precisão da cavidade do equipamento, substituindo a estrutura de suporte original em aço inoxidável, alcançando uma dupla melhoria no desempenho do equipamento e na eficiência operacional.
Alta precisão personalizadahaste cerâmica de aluminaCom uma superfície lisa e plana, combinando as principais características de alta rigidez, baixo coeficiente de expansão térmica, resistência à corrosão por plasma, alto isolamento e baixa precipitação de poeira, adaptando-se perfeitamente às condições de trabalho rigorosas de equipamentos de gravação, que exigem limpeza, alta precisão e operação contínua. Esta haste cerâmica é utilizada principalmente para fixar os componentes de detecção óptica e as estruturas de limite do wafer dentro do equipamento, desempenhando um papel fundamental no suporte preciso, calibração de posicionamento, isolamento e proteção, garantindo a estabilidade estrutural do equipamento durante a operação de movimento alternativo em alta velocidade.
